二手 LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX #293793431 待售

LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX是一种蚀刻器/asher,可提供高吞吐量和吞吐量一致性。它用于陶瓷和金属基板的蚀刻和灰化。它通过可编程、可重复的过程和自我监控性能提供高精度的结果。该设备在触摸屏彩色控制器上运行,可提供高达0.05秒步长的控制分辨率,用于精确的蚀刻和灰化持续时间。此蚀刻/灰化系统提供每小时约400个基板的高吞吐量,并且设计为符合清洁室协议。TCP 9400 PTX asher包含一个风冷、低压反应物室、工艺气体模块以及温度和真空控制。该装置还为硅构型提供了三气蚀刻能力。它配备了过滤机，以保证粒子控制和粒子沉积预防。该工具通过使用先进的反应堆烟囱设计提供了一个高效的过程。这有助于最大限度地减少气体扩散并促进快速蚀刻时间。该资产还提供精密的蚀刻控制，提高的均匀性，以及从批次到批次的出色重复性。TCP 9400 PTX型号包括多项安全功能,可确保安全的操作环境。设备还提供自我诊断功能,以检测任何外部篡改。此外,系统还包括低维护设计,以最大程度地减少停机时间。不锈钢合金材料确保低气体，低泄漏浓度，并防止污染的基板。该装置能够产生多种基材的高质量成果，能够满足各种生产工艺的需要。弹性体密封保证了精度和准确性，而腔室设计提供了结果的重复性和快速的工艺时间。此外,高级过程监视机器可最大程度地减少错误并降低蚀刻时间。总体而言,Alliance TCP 9400 PTX是满足各种生产线和高批量生产需求的理想蚀刻器/粉碎器。该工具的高吞吐量、对蚀刻的精确控制和安全特性使其成为高精度蚀刻和灰化应用的完美解决方桉。