二手 LAM RESEARCH Alliance TCP 9600 #9255329 待售

LAM RESEARCH Alliance TCP 9600 etcher/asher是一种多功能机器，专门设计用于薄膜的沉积和蚀刻，以及制造半导体器件所需的相关清洁、物理气相沉积和光刻工艺。这台机器提供了广泛的蚀刻功能和几种应用，如MEMS器件、复合半导体器件和微电子器件。Alliance TCP 9600 蚀刻器/asher配备了一个高容量、14英寸长的真空室，能够接受尺寸不超过4 "x 4"的基板。这个腔室通过含氯和氧的等离子体加热，由电子回旋共振（ECR）源产生。等离子体能量则允许对沉积层进行极其精确的蚀刻，如多晶硅、外延、非晶硅等材料。该蚀刻器还包括射频偏置发生器和霍尼韦尔压力调节器，允许等离子体功率和压力的精确组合，以进行高质量的蚀刻。LAM RESEARCH Alliance TCP 9600还提供两台原位离子质谱仪，可实时监测蚀刻过程，提供有关蚀刻速率和蚀刻均匀性的重要信息。通过监测蚀刻速率和均匀性,制造商能够产生更精确的蚀刻结果,减少工艺变化并最终提高产品质量。此外，原位离子质谱仪可以方便地整合额外的蚀刻配方，以便在最小停机时间内蚀刻新材料。Alliance TCP 9600配备了功能强大、用户友好的Windows"兼容软件套件,可轻松设置和执行蚀刻食谱。此软件包括数据分析功能,允许轻松跟踪使用数据和蚀刻结果,帮助制造商更快、更高效地产生高质量的结果。总而言之,LAM RESEARCH Alliance TCP 9600 蚀刻器/asher是一款功能强大的机器,可提供高质量的蚀刻、强大的软件套件以及实时监控,以实现高精度、可靠的蚀刻过程。这台机器非常适合需要具有高度精确蚀刻和精确监控功能且停机时间最短的蚀刻器/灰化器的制造商。