二手 LAM RESEARCH Alliance #9024992 待售

LAM RESEARCH Alliance是一款先进的蚀刻和灰化工具，为精密蚀刻和灰化解决方桉提供高端精度。它旨在帮助在微芯片和其他电子元件的蚀刻和灰化过程中创建更小、更精确和可重复的模式。Alliance是复杂、结构要求苛刻的蚀刻和灰化应用的理想选择,因为该设备能够产生低尺寸误差和+/-3埃的高可重复性精度的小特征。该系统由几个高端组件组成，确保所需基材的精密蚀刻和灰化。这包括一个高灵敏度的光学装置，其设计目的是提供具有非常高分辨率成像能力的精确结果，以及一个高精度的图样发生器和成像子系统，允许操作和控制单个蚀刻和灰度图样。对于蚀刻工艺，LAM RESEARCH Alliance附有一个强大的离子源，能够定制蚀刻成分并实现受控蚀刻速率。这种强大的离子源由一个高能单元组成，通过一个动态调节的离子能量范围输送离子，这种范围允许用广泛的材料进行蚀刻。还有一个定制的蚀刻室，能够产生电场、化学场和热场，用于沉积薄膜和蚀刻底物。该腔室包括多个附件，用于管理不同的蚀刻参数，实现高可靠性的可重复层。对于灰化过程,该单元配备了一台强大的控制机器,能够控制多个配方的速率,并提供自动化的设备编程,以实现更快、更可靠的过程。Alliance还具有温带反馈回路工具,该工具在灰化过程中将过程温度保持在严格的公差范围内。资产还提供了支持美国Gcode和VLSI CAD的软件接口,并允许直观的布局和参数模拟及优化,以确保蚀刻和灰化过程中的最高精度。LAM RESEARCH Alliance旨在以精确、可重复性和可靠性满足行业对精密蚀刻和灰化应用的苛刻要求。该模型用于微电子学、半导体、医疗器械和汽车工业，是精密蚀刻和灰化应用的理想选择。