二手 LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM #9250676 待售

LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM是一种用于支持一系列先进半导体工艺的蚀刻器/asher。它将高端专有过程控制软件与独特的模块化设计相结合,提供卓越的性能和精度。Alliance6 9400 DFM提供多种蚀刻和沉积化学功能。该设备兼容CVD、PECVD和ALD技术，以及抗蚀剂和蚀刻化学。它能够加工高达4英寸的基板，并能达到高达950 °C的温度。该系统使用专有的Multi-Plane Linear FlowTec™交换平台提供卓越的均匀性、可重复性和快速循环时间,可提供高精度和可重复性。该装置还具有通用的等离子体源/泵组合，能够根据用户的工艺配方对金属和高k材料进行均匀的等离子体蚀刻。LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM配备了先进的PIC Corporation电源，允许用户从各种各样的气体中进行选择，从而实现用于薄膜沉积和蚀刻过程的高级反应堆配置。该机器的专有软件有助于减少制造亚微米特性的可变性,从而确保卓越的设备性能。该软件允许用户监视、分析和优化流程性能,以准确控制一致性、吞吐量和产量。Alliance6 9400 DFM非常适合一系列生产要求和遵守环境法规。其化学品管理工具确保安全和减少废物，并符合SEMI S2要求。该资产还可以满足高吞吐量、低成本的要求。总体而言,LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM是一款非常先进的蚀刻器/asher,旨在提供卓越的性能和精确度。其独特的模块化设计和专有软件允许用户优化过程，而其化学管理模型则确保安全和遵守环境法规。