二手 LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM #9412055 待售

LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM是一个生产规模的蚀刻晶片制造模块，设计用于半导体工业中的大容量、高通量晶片加工。Alliance6 9400 DFM是专门为高级高长宽比晶圆处理而设计的专用蚀刻模块。该模块配备了3轴自动晶圆装卸设备和高精度多区压板级。该系统的设计使其适用于反应性离子蚀刻（RIE）、感应耦合等离子体（ICP）蚀刻、深反应性离子蚀刻（DRIE）等多种蚀刻应用。LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM采用高精度多区压板级，实现精确晶片对准，方便批次蚀刻和晶片对晶片对准。该压板能够在多区模式下运行，允许在晶片上同时进行多次不同类型的蚀刻。先进的晶圆处理单元具有高速度、精确度和可靠性,进一步提高了Alliance6 9400 DFM的性能和操作灵活性。该机还具有实时过程控制、产量和运行时监控、数据记录、高级容错软件以及在线和离线缺陷检测等功能。LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM由LAM RESEARCH综合服务和支持网络支持,包括远程服务和预防性维护计划。该工具利用最高质量的材料和制造技术提供可靠和一致的性能。它旨在优化吞吐量和产量,使客户能够最大限度地节省成本和提高竞争力。其先进的工艺能力、灵活的操作模式和可靠的性能使Alliance6 9400 DFM成为满足各种半导体制造要求的可靠解决方桉。