二手 LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX #9250675 待售

LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX是一种蚀刻器/灰化器,为从全晶片蚀刻/灰化过程到后端过程（如光致抗蚀剂剥离和金属去除）的应用提供工艺解决方桉。Alliance6 9400 PTX是一款多功能的高级蚀刻器/aser,具有单一的工艺室,可提供高吞吐量、低成本、流程设计灵活性和广泛的流程功能。LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX利用并联电极驱动的电感耦合等离子体（ICP）源。它旨在提供高效的等离子体控制，并提供更高的可靠性和可重复性。它提供了具有精确端点检测功能的均匀、干净的蚀刻/灰烬工艺。蚀刻器/asher由一个单一的处理室和一个易于使用的触摸屏控制器组成。它旨在提供更好的过程控制和改进的停机时间,以及增强的可重复性和统一性。Alliance6 9400 PTX是一种可靠、稳定的蚀刻器/asher,可满足严格的全球安全和环境要求,安全用于生产系统。它配备了专利双频射频过程监控系统和极其先进的晶圆处理系统，使多晶圆处理成为可能。它包括基板温度、工艺气体组成、压力、功率和电流等多种工艺参数.所有这些参数都可以精确调整以获得广泛蚀刻/灰化过程的最佳结果。蚀刻器/asher利用了最先进的软件包，使过程参数易于操作和优化。总体而言,LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX是一款用途广泛、先进且可靠的蚀刻器/蚀刻器,专为高通量和低成本工艺而设计。它提供精确的过程控制和改进的停机时间以及增强的可重复性和统一性。此外，它满足严格的全球安全和环境要求，使其对生产系统安全。