二手 LAM RESEARCH Autoetch 480 #293652620 待售

LAM RESEARCH Autoetch 480是一款为晶圆加工而设计的蚀刻器/asher。它为各种应用程序提供了高吞吐量、稳健的蚀刻和灰度处理。Autoetch 480采用多室技术，将蚀刻和灰化结合在一个工具中。功能包括每个腔室独立的质量流量控制器、用于蚀刻/灰分选择性的数字压力控制,以及用于提高生产率的整体负载/卸载自动化。LAM RESEARCH Autoetch 480设计了模块化腔室，以最大限度地提高工艺灵活性。这使客户能够根据一组特定的要求定制其蚀刻或灰化过程。蚀刻能力包括：等离子体蚀刻、湿蚀刻和湿/干蚀刻组合工艺。灰化能力包括：氧等离子体、远程等离子体、湿蚀刻和湿/干蚀刻组合工艺。所有工艺最多可有三个会议厅。自动蚀刻480还具有先进的过程控制技术,可确保最佳的过程可重复性和产量。它提供了易于使用的配方编程系统,可简化控制并最大程度地减少停机时间。该工具维护一个全面的流程审核跟踪,从操作员到所使用的流程都具有清晰的可追踪性。LAM RESEARCH Autoetch 480附有多种选项和升级，以增加通用性。这包括快速热处理、广泛的腔室、集成的粒子控制和配方编程接口。Autoetch还提供集成就绪的软件模块,包括实时计量、在线监控和流程数据报告。Autoetch 480是一种高级蚀刻器/asher,可帮助用户最大化产量和过程可重复性。它的模块化设计提供了灵活性,并允许根据特定需求定制工具。它的控制技术确保了最优的过程可重复性和产量，其集成的软件模块提供实时监控。LAM RESEARCH Autoetch 480是希望升级蚀刻工艺的客户的理想解决方桉。