二手 LAM RESEARCH Autoetch 490 #175570 待售

ID: 175570
晶圆大小: 6"
Etcher, 6".
LAM RESEARCH Autoetch 490是一种自动蚀刻机,设计用于湿法和干法化学蚀刻工艺。该机经过专门设计,可在多种材料和基材上进行精密蚀刻和灰化。它具有顺序的全自动操作,利用高频交流电使材料或基板中的颗粒移动并暴露于聚焦的化学物质中。该机配备了多种功能,旨在提高其性能和精度。这些特点包括用于精确控制气体流动的精密气体阀,以及一个紧凑、封闭的真空系统,以确保蚀刻过程在受控环境中进行。此外,Autoetch 490还具有计算机控制的微处理器驱动系统,使机器能够准确、精确地控制过程参数。蚀刻过程是通过使用计算机驱动的控件启动该过程而启动的,在该过程中,蚀刻和灰化参数被设置为达到所需的属性。一旦过程启动,交替的高频电压被施加到材料或基板上,使材料内的离子振动,从而导致蚀刻发生。在蚀刻过程中,蚀刻气体被引入腔室。这些气体随后被点燃,导致材料暴露在化学物质中,并允许蚀刻发生。蚀刻过程完成后,将对蚀刻产品进行分析以检查产品质量。LAM RESEARCH Autoetch 490配备了荧光屏,可以实时看到蚀刻产品,让用户看到蚀刻过程的进展情况以及蚀刻材料的外观。蚀刻过程完成后,可以清洗或处理蚀刻产品。总体而言,Autoetch 490是一个高效可靠的蚀刻和灰化系统,旨在提供高度准确和一致的蚀刻产品质量。该机配备了多种特性,使其能够以高度的精确度和精确度执行干湿蚀刻工艺。机器还配备了适当的设备来分析蚀刻产品,以确保它符合为蚀刻过程设定的质量标准。
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