二手 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293652631 待售

LAM RESEARCH Autoetch 490是一种蚀刻和灰化设备，对化学过程和温度提供高精度、可编程的控制。该系统能够承担各种不同温度和蚀刻要求的蚀刻和灰化任务。Autoetch 490利用独立、自动、计算机化的温度和逻辑控制系统,允许复杂的蚀刻和灰化方桉,具有完全的灵活性。LAM RESEARCH Autoetch 490是一个高级工具单元，具有直观的图形用户界面和先进的过程控制。它具有内置的12英寸彩色显示屏，让用户清晰地看到蚀刻和ashing操作，以及快速轻松地查看和调整配方参数。它还自动校准每个腔室的温度，并在整个过程中保持温度的一致性，从而使蚀刻部件的质量一致。该机器还具有计时器序列功能,能够精确、一致地控制蚀刻时间。此计时器还可与内置限位控制器配合使用,以确保对精细基板和组件的保护。Autoetch 490由内部压缩空气供应提供动力，驱动两个独立的真空泵进行精密蚀刻、灰化和清洁操作。它利用电子束和紫外线暴露技术来促进模具到模具、网状和卷轴到卷轴的过程。该工具还具有若干清洁能力，以提高工艺可靠性和质量保证。这些清洁功能包括湿式清洁工艺和反应性气体清洁工艺，有助于减少循环时间，使LAM RESEARCH Autoetch 490成为实现高纯度蚀刻和灰化结果的有效工具。高精度喷嘴调节功能还确保了处理大基板时的一致性，这对于可重复的产品质量至关重要。简而言之,Autoetch 490是一种强大的蚀刻和灰化资产,可提供卓越的质量效果。LAM RESEARCH Autoetch 490以其人性化的图形界面、先进的过程控制、独立的温度控制、集成的计时器和极限控制器、高效的清洁能力以及精确的喷嘴调节，是任何蚀刻和灰化应用的理想工具。