二手 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293697198 待售

LAM RESEARCH Autoetch 490是一款蚀刻器/asher，设计用于快速精确蚀刻微电子材料，高达12英寸晶圆。它是用于制造集成电路的各种蚀刻操作的理想选择,包括：高方面蚀刻、硬掩模蚀刻、低至0.25微米的特征尺寸、浅蚀刻和深蚀刻。Autoetch 490具有高真空蚀刻室、缓冲气体输送设备和精确的机器人基板定位系统。该单元提供了具有毫秒响应的精密蚀刻控制,以实现小型特征和超浅结构的高吞吐量。LAM RESEARCH Autoetch 490采用高精度机器人定位机，在大型晶片上精确匹配蚀刻速率。其真空工具能够达到milliTorr范围内的高处理压力。Autoetch 490结合了电源连杆,以300 nm的拍摄尺寸提供高度精确的操作。它配备了离子轰击资产，通过交联聚合物最大程度地提高蚀刻速率，并确保整个基板表面蚀刻深度的均匀性。它还具有气体优化模型，以实现蚀刻指令，如高长宽比，而不会损坏基板表面。设备对蚀刻速率变化也高度敏感，并配备原位粒子检测技术，对原位离子、气体和颗粒进行监测。LAM RESEARCH Autoetch 490提供了多种可纳入其系统以改进控制的工艺模块,例如用于蚀刻轮廓调整的温度室和用于快速调整蚀刻速率的参数室。它还配备了专利的电荷中和装置，以有效控制蚀刻参数，提高需要高长宽比的蚀刻应用的性能。Autoetch 490是微电子和半导体加工的理想工具，包括金属和金属氧化物层的浅蚀刻和深蚀刻。该机器既满足工业需要，也满足研究需要，以较短的周期时间提供准确和可重复的蚀刻结果。它是一种可靠、可靠且经济高效的蚀刻解决方桉,旨在最大程度地降低总成本。