二手 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293728169 待售

LAM RESEARCH Autoetch 490是为高精度制造半导体器件而设计的先进蚀刻和灰化设备。它利用了多种蚀刻和灰化技术，包括集成等离子体蚀刻、感应耦合等离子体蚀刻和反应性离子蚀刻工艺。Autoetch 490系统配置了一个完全封闭的腔室,它提供了一个干净的过程环境,并允许设备遵守严格的过程可重复性和配方控制要求。精确控制等离子体能量以确保蚀刻过程具有高度可重复性。LAM RESEARCH Autoetch 490可以精确蚀刻复杂的结构，并创建具有高长宽比的独特几何形状。Autoetch 490包括一台出厂安装的机器人晶片处理机，可实现自动晶片处理和加载端口操作。机器人处理工具具有较高的吞吐量和较短的周期时间，并具有可动态重新配置的多晶圆大小的输送机资产。LAM RESEARCH Autoetch 490还采用晶圆温度控制模型,以确保最佳蚀刻性能.该设备可配备范围广泛的蚀刻配方，包括高长宽比沟槽、复杂的通孔和更深的轮廓。Autoetch 490还支持快速轻松的配方修改、配方参数调整和过程监控。该系统还具有集成的高分辨率视频过程监视器,用于实时过程监控。LAM RESEARCH Autoetch 490还提供全面的诊断、报警和配方管理软件来维护过程控制。远程诊断和监视软件支持远程流程性能监视和控制。Autoetch 490还为用户提供了各种流程自动化选项,包括板载配方管理、非接触式火花检测单元、自动设置文件和自动运行功能。总体而言,LAM RESEARCH Autoetch 490是一款先进的蚀刻和灰化机,提供高精度、可重复的蚀刻工艺。该工具包括机器人晶圆处理器资产和各种工艺控制选项，是制造半导体器件的理想选择。