二手 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293811780 待售

LAM RESEARCH Autoetch 490是一款为高边际基板的高通量加工而设计的蚀刻器/asher。此蚀刻器/asher经过高度设计,可实现优化的性能和高生产率。Autoetch 490具有高压、高容量的工艺室和广泛的蚀刻化学解决方桉。利用先进的工艺控制算法，实现了该室的气体利用率最大化，同时实现了均匀的蚀刻效果和优越的工艺精度。LAM RESEARCH Autoetch 490专为高产低成本操作而设计,可同时处理多个晶片,同时具有一致的蚀刻临界特征尺寸要求和工艺时间。Autoetch 490还具有多种工艺选项,如主动压板温度控制、多气体入口和主动冷却系统。凭借强大的工艺控制能力，LAM RESEARCH Autoetch 490可以实时修改参数，以最大限度地提高蚀刻产量和轮廓精度。自动蚀刻490非常适合等离子体蚀刻、湿蚀刻、灰化、门氧化物蚀刻和侧壁轮廓蚀刻。它具有50-100%的高收益率，可以与RF和Open Tower架构同时结合。LAM RESEARCH Autoetch 490标配基于Windows的32位软件平台，使其能够轻松集成到现有的生产环境中。Autoetch 490还具有最大限度减少污染的安全功能,以及用于缺陷检查和过程控制的高级软件解决方桉。该系统易于操作,配有全彩液晶显示屏,用于监视状态和操作。远程访问功能为用户提供远程诊断,以确保系统最佳运行。总体而言，LAM RESEARCH Autoetch 490是一种用途广泛的高通量蚀刻器/asher，可用于精确蚀刻高边际基板。此蚀刻器/asher具有强大的过程控制功能、先进的安全功能和易于操作,是一系列蚀刻应用程序的理想解决方桉。