二手 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293815927 待售

LAM RESEARCH Autoetch 490是一款先进的蚀刻和灰化设备，旨在满足各种半导体器件应用的需求。该系统设计为在一个方便的平台上提供蚀刻、剥离、剥离和去除光刻胶以及晶圆表面调节。自动蚀刻490能够处理平坦和不规则形状的基板。其独特的设计允许多种蚀刻配方，允许灵活性和广泛的功能。LAM RESEARCH Autoetch 490由多个子系统组成，提供处理各种基板所需的灵活性。这些系统包括：负载/卸载单元、气体控制机、气体输送工具、基板支架和蚀刻室。载荷/卸载资产用于将基板移入和移出蚀刻室。气控模型用于调节蚀刻气体的流动。气体输送设备负责将蚀刻气体输送到蚀刻室。基板支架在加工过程中将基板固定在蚀刻室中，而蚀刻室本身的设计则是为了确保基板的均匀蚀刻。Autoetch 490配备了真空互锁系统和紧急关闭开关等先进的安全功能。它还包括一个自动配方控制单元，为操作员提供存储常用配方和更高效管理机器的选项。此外,它还具有一个21英寸的大型彩色显示屏,可让操作员监控蚀刻过程并根据需要进行调整。LAM RESEARCH Autoetch 490能够以高达400毫米/分钟的速度蚀刻晶片，每批基材最多有8种蚀刻配方。这使得它适合广泛的生产需求。它还与多种蚀刻气体兼容，使其适用于反应性离子蚀刻、深反应性离子蚀刻等复杂过程。Autoetch 490是一种先进的高端蚀刻和灰化工具,旨在满足各种半导体器件应用的需求。它具有快速可靠的晶圆蚀刻能力，设计时考虑到操作员的安全性和易用性。资产的高级特性和功能使其成为复杂蚀刻和灰化过程的理想选择,并且是对任何生产设施的宝贵补充。