二手 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293821360 待售

LAM RESEARCH Autoetch 490是一种全自动气体蚀刻和灰化器。它设计用于半导体制造工艺，可用于化学蚀刻各种材料，包括金属、硅化物、氧化物和氮化物。它具有多种特性和优势，使其成为许多半导体生产过程中的宝贵资源。Autoetch 490是一种可编程蚀刻设备，包括两个独立的单臂、全充气、非接触/机械旋转分流的蚀刻连续材料。它也有五条单独的气线,用于可控材料蚀刻配方.该蚀刻器有一个工厂安装的净化系统，用于完全疏散所有气体管线，提供高度的安全和过程控制。LAM RESEARCH Autoetch 490具有一个氮气气泡，用于去除蚀刻室中的游离基气体。氮气泡器还包括一个串联过滤单元和湿洗技术，以去除蚀刻材料中的所有颗粒物。湿洗技术还有助于提供清洁、无尘的工作环境。Autoetch 490设计用于处理各种灰度和蚀刻操作。该机最多可容纳14种不同的气体序列配方，为最终用户提供各种蚀刻各类材料的选项。还有一个自动启动功能,它将根据给定的时间周期启动蚀刻周期,从而允许最终用户设置所需的蚀刻配方时间。LAM RESEARCH Autoetch 490是一款小巧而坚固的工具,占地面积小,易于与现有设备集成。这使得它成为狭窄、空间受限的生产区域的理想解决方桉。总之，Autoetch 490是一种极具威力和柔韧性的气体蚀刻剂和asher。它具有独特的特性和优势,非常适合半导体制造过程。它是完全自动化的,易于操作,并且需要最少的维护。