二手 LAM RESEARCH Autoetch 490 #9265329 待售

LAM RESEARCH Autoetch 490是一款为等离子体蚀刻、灰化和干式剥离应用而设计的蚀刻/灰化设备。该系统利用先进的等离子体蚀刻技术，除了先进的功率传递，为最大的工艺性能。Autoetch 490提供高吞吐量、高选择性和可重复的过程性能。该装置采用专有的控制机器硬件和软件设计和制造，确保可靠性和鲁棒性。该工具包括平面反应性离子蚀刻器（RIE）和线性反应性离子蚀刻器（LRIE）。RIE既可用于通孔蚀刻，也可用于反应性离子蚀刻（RIE）。RIE具有在晶圆和蚀刻/蚀刻后表面之间移动的旋转臂。这样可以确保蚀刻的均匀性和重复性。LRIE用于干剥离、灰化和清洁样品。LRIE配备真空卡盘，提供自动驱动和可重复的运动。由于其单面清洁室的概念，LRIE通常用于同时粉刷大量样品。LAM RESEARCH Autoetch 490还具有多种先进的电源传递机制,能够对过程和基板的功率波形进行成形。这允许在蚀刻和灰化过程中控制等离子体，将蚀刻和灰化时间减少到最小。该资产还具有多种其他特点，如自动工艺重复性、高温蚀刻和自动跟踪晶圆温度。Autoetch 490是一种可靠、健壮且高效的蚀刻器/asher模型,非常适合寻求卓越工艺性能、可重复性和高吞吐量的实验室。该设备具有高度可配置性,可以轻松设置和调整以满足实验室特定的要求,从而提供无与伦比的蚀刻和灰化性能。