二手 LAM RESEARCH Autoetch 490B #9245067 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9245067
Automatic Plasma Etcher
Includes:
ENI OEM-6M-01 / OEM-6 XL RF Generator
M&W SYSTEMS RPCX17A-D-DI2x10-LI-CMII-HE Flowrite recirculating cooling chiller system
LAM RESEARCH 853-006117-001 Assy RF Match bulkhead
LAM RESEARCH 853-001142-001 Automatch controller
LAM RESEARCH 853-006233-001 Assy
LAM RESEARCH 853-001983-005 End point detector assy
TYLAN General AC-2 AdapTorr vacuum controller
NOR-CAL PRODUCTS 796-008091-001 Pneumatic valve
TYLAN General MDVX-015S08 Vacuum throttle valve
TYLAN General CMLB-11S01 Pressure transducer, 10 Torr
UNIT INSTRUMENTS UFC-1000 Mass flow controller, MFC, CF4, 100 SCCM
UNIT INSTRUMENTS UFC-1200 Mass flow controller, MFC, CHF3, 50 SCCM
UNIT INSTRUMENTS UFC-1200A Mass flow controller, MFC, CL2, 200 SCCM
UNIT INSTRUMENTS UFC-1200A Mass flow controller, MFC, He, 200 SCCM
UNIT INSTRUMENTS UFC-1200A Mass flow controller, MFC, SF6, 200 SCCM.
LAM RESEARCH Autoetch 490B是一种先进的蚀刻/asher设备,专为各种蚀刻和灰化工艺而设计。它配备了一系列独特的功能,以确保每次都达到最佳效果。该系统由一台主机、一个集成缓冲气体单元、一个高级工艺控制（APC）单元、一台高分辨率光学机器和一个垂直腔室组成。大型机是为高效运行而设计的，具有各种气体系统，为蚀刻和冲洗工艺提供了最佳条件。它配备了用于精确热控制的先进温度调节器和用于高性能操作的高压泵。集成的缓冲气体单元确保了蚀刻和灰化气体的精确溷合，从而实现了均匀的蚀刻和灰化。Advanced Process Control （APC）工具提供了许多功能,以确保最佳的过程控制。这包括端点检测、自动基板表示、可调配方参数和自动基板加载。此外,APC还可以通过数据记录对过程条件和自动调整进行实时监控。自动蚀刻490B资产还具有高分辨率的光学模型，用于精确的阵列。该设备配备了最佳能见度的顶级照明光源，具有明亮光源和用于清晰成像的高分辨率光学器件。它还具有用于扩展阵列功能的内置宽视野。最后,LAM RESEARCH Autoetch 490B设计了一个垂直腔稳定运行.该腔室的设计效率最高，配电系统均匀，确保加热和冷却均匀。此外，腔室有一个可调节的温度控制单元，以保持工艺条件在严格的参数内。总体而言,Autoetch 490B是一款高级蚀刻和灰化机,具有一系列独特的功能,可确保每次都获得最佳效果。LAM RESEARCH Autoetch 490B具有高分辨率光学器件、集成缓冲气体单元、可调配方参数、自动基板加载和端点检测等优点,是一种可靠的高性能蚀刻和灰化工艺工具。
还没有评论