二手 LAM RESEARCH Autoetch 590 #293745368 待售

LAM RESEARCH Autoetch 590是一款蚀刻器和asher，旨在提供最高水平的灵活性，以适应广泛的半导体工艺。它是一种全自动设备，可以从200毫米晶片加工到300毫米晶片，速度高达每小时30个晶片。它提供了广泛的工艺参数，可以精确控制工艺条件。Autoetch 590设有双反应室，保证良好的均匀性，提高工艺效率。它能够进行干蚀刻工艺，如RIE、ICP、等离子体氧化物蚀刻、蚀刻钝化和沉积后清理。它还能够进行湿蚀刻工艺，如水性蚀刻、光致抗蚀剂去除、酸性蚀刻、碱性蚀刻和溶液蚀刻。LAM RESEARCH Autoetch 590集成了一个灵活的气体输送系统，该系统能够根据正在进行的工艺类型提供单一工艺气体和溷合气体。Autoetch 590设计有一个粒子管理单元，有助于减少颗粒污染并延长工具的使用寿命。与机器集成的自动晶圆处理最多可处理三个卡带插槽，允许显着提高吞吐量，最大限度地减少停机时间。LAM RESEARCH Autoetch 590还设有先进的软件和监控机器，旨在提供完整的过程控制。它包括流程监控和数据记录,提供有关工具性能的基本信息。此外,Autoetch 590还具有内置的诊断和控制功能,可将其集成到更大的工具中。对于半导体制造商而言,LAM RESEARCH Autoetch 590是一个经济高效的解决方桉,因为它具有高度的工艺灵活性和高级功能。它是为高通量和可靠性而设计和制造的，是半导体蚀刻和灰化的理想工具。