二手 LAM RESEARCH Autoetch 590 #293754142 待售

LAM 590是由LAM Research Corporation开发的最先进的高性能蚀刻器/asher。它是一种基于反应性离子蚀刻（RIE）和等离子体灰化（PA）技术的全自动、可编程的批量蚀刻设备。它能够进行广泛的蚀刻过程,并提供卓越的性能、准确性和生产率。590设计用于处理几乎所有蚀刻或灰烬工艺要求。它提供了对压力、射频功率、流量和浸没等蚀刻或灰烬参数的精确控制。该系统支持直径可达40英寸的大型加工室，以适应各种晶圆尺寸。该单元的卡带到卡带处理能力使其能够分批运行，减少了整体处理时间和成本。蚀刻器/asher配备了多种选项,以确保精确的过程控制和准确性。其中包括一个手动负载锁定和卸载站、一个自动高度检测机、数字温度控制系统和一个射频发电机控制模块。这些特性可以精确控制蚀刻或灰分工艺，确保每次都能可靠地、准确地处理晶片。该工具坚固的电气和机械部件使其能够承受高电压和高强度的化学性能,从而确保即使在要求苛刻的应用中也能延长使用寿命。它配有用于精确气体控制的高分辨率气体面板和用于自动温度监测的光学高温计。资产的自动机械处理确保了高效的装卸过程。LAM 590已通过UL-、CSA-和CE认证,因此在大多数危险地点都可以安全使用。它提供出色的工艺控制和精度，使其成为蚀刻和灰化应用的理想选择。该模型也易于使用，成本效益高。凭借出色的性能和精确度，它是任何蚀刻或灰烬工艺的理想选择。