二手 LAM RESEARCH Autoetch 590 #293761050 待售

LAM Autoetch 590 etcher/asher是一种先进的高性能蚀刻和气相沉积系统，非常适合微电子和其他相关基板。它为金属、聚合物、氧化物和其他材料快速高速沉积到各种基材上提供了精确、可控的工艺。Autoetch 590提供了广泛的工艺选项,包括各种基于SF6和O2的等离子体蚀刻工艺,这些工艺具有组合条件以优化工艺性能。它还提供了许多先进的温度控制蒸发剂，如GaAs、Silicon、Gold、Silver等。这两种工具的结合提供了一个理想的解决方桉，以实现精确的材料沉积和蚀刻，同时管理最具挑战性的基板加工特点。LAM Autoetch 590采用坚固的材料制造,可提供最大耐用性。该工艺室由304不锈钢制成，在加工过程中设计为温度和压力稳定一致。其粉末涂层钢外墙提供最大限度的保护，从外部元素。Autoetch 590还配备了自动基板加载、独立气流控制、非接触式存在感测、RF生成的等离子体源以及每个反应堆的多次时间和温度配方。这使得操作人员可以简单地以最小的麻烦来管理蚀刻和沉积过程。LAM Autoetch 590还利用先进的适配器系统为微电子和其他相关应用提供了特定的解决方桉。这样可以提高灵活性,为各种基材、形状和特征创建专门的解决方桉。最后,Autoetch 590采用了高度敏感的诊断程序包,用于监控蚀刻和沉积过程的各个方面。这有助于确保高质量的结果，同时防止意外损坏细腻的基材。总而言之，LAM Autoetch 590非常适合在微电子和其他相关基板上实现高性能沉积和蚀刻工艺。它的高级功能使其成为各种应用程序的宝贵资产,使用户能够获得可靠的结果并减少流程停机时间。