二手 LAM RESEARCH Autoetch 590 #293807554 待售

LAM RESEARCH Autoetch 590是为现代半导体制造工作流程而设计的高度精密的蚀刻器/asher。该设备采用先进技术，在一台方便的机器上提供精密蚀刻和灰化工艺。Autoetch 590通过提供最高水平的蚀刻和灰化速度和精度,提高了生产吞吐量和产量,以满足当今大容量半导体制造需求。LAM RESEARCH Autoetch 590旨在以环保的方式工作，使用FOUP Containers在没有人直接接触的情况下安全运输晶片。这消除了直接处理危险化学品的需要，保护人员和重要产品免受损害。用户还可以指定一个灵活的程序，专门针对特定蚀刻晶片定制作业要求，以获得最佳性能。该系统易于配置,可添加特定于客户需求的流程功能。Autoetch 590采用高分辨率、1 µm步进准直激光器和可选的转换透镜，使多个配方得以处理。通过控制激光功率和脉冲时间，用户可以精确蚀刻晶片中的大小特征，以惊人的速度制造出困难的图样。激光还提供了无串扰蚀刻的优点,可最大程度地减少与掩模相关的阵列错误。此外，LAM RESEARCH Autoetch 590具有广泛的先进和可定制的工艺参数，如基板失准控制、温度控制、功率水平设置、狭缝宽度和雾化化学浓度设置。这允许用户精确设置最困难作业所需的参数。该单元还具有先进的计量和检查能力，以确保在过程中的任何步骤的蚀刻精度。自动蚀刻590使用K系列化学输送喷嘴精确、快速地控制蚀刻速率。这台机器具有卓越的控制和可靠性，以确保每个加工基材的蚀刻速率的最高精度和一致性。该工具包括一个用于监测蚀刻工艺参数的校准单元，以确保精确控制和极其均匀的蚀刻。资产连接到一个处理站,该处理站可以提供一个安全的环境来控制蚀刻和灰化的所有方面。这使得自动晶圆映射能够确保晶圆在蚀刻和灰化操作方面的最佳对齐。此外,该模型还提供了高度集成,便于与各种外部处理平台进行通信。LAM RESEARCH Autoetch 590提供简单易用的设计工具、设置时间和编程语言来配置设备,以满足最复杂的生产需求。最后,Autoetch 590是现代半导体制造公司的理想工具.其先进的技术和集成的功能允许高水平的蚀刻和灰度精度、速度和可重复性。该系统提供特定于客户的流程,以满足极其严格的生产要求,同时保持安全和环保的工作流程。