二手 LAM RESEARCH Autoetch 590 #293811811 待售

LAM RESEARCH Autoetch 590是一款针对多种应用而设计的蚀刻器和asher。它能够加工从金属到陶瓷和聚合物的材料。Autoetch 590有一个工艺室，适合处理尺寸不超过7.5 "x 7.5"（190 x 190 mm）的基板，可以加工长达175 mm的晶片。该设备可实现高精度和可重复的结果，同时提供过程的多功能性。LAM RESEARCH Autoetch 590利用了广泛的蚀刻工艺，包括干蚀刻、湿蚀刻、等离子体蚀刻、灰蚀刻和浸蚀蚀刻。利用Autoetch 590可以精细控制蚀刻时间和功率参数，允许统一的过程控制。LAM RESEARCH Autoetch 590具有完全集成的自动加载系统,允许可重复的过程对齐和过程结果。自动蚀刻590操作参数、公差和配方易于设置和编程,以确保最佳的单元性能。LAM RESEARCH Autoetch 590包含实时状态显示,允许对过程进行故障排除或优化,而无需中断过程。自动蚀刻590还包括可用于各种基板的射频发电机和电源。射频特性有助于在蚀刻过程中最大程度地减少工艺区域的污染。LAM RESEARCH Autoetch 590包括一个高级工艺监视器,可以跟踪蚀刻过程的结果并验证是否满足了所需的参数。Autoetch 590还提供远程控制功能,允许从远程位置操作计算机。LAM RESEARCH Autoetch 590与多种操作系统兼容，包括Windows、Mac和Linux。该工具经过认证以满足各种安全和环境要求,包括SEMI E34、IEC 60601-1-1和UL 698A。总体而言,Autoetch 590是业界领先的蚀刻器和asher,能够提供高精度蚀刻结果,同时提供工艺多功能性。其先进的操作资产和集成的自动加载模型使其成为各种应用的理想选择。