二手 LAM RESEARCH Autoetch 590 #9201785 待售

LAM RESEARCH Autoetch 590是一款最先进的等离子体粉碎器和蚀刻器。其新颖的热处理技术在广泛的工艺应用中提供一贯的高质量蚀刻和等离子体处理。Autoetch 590具有集成的蚀刻/等离子体系统,为蚀刻和等离子体操作提供了更大的吞吐量和更小的占用空间。LAM RESEARCH Autoetch 590能够在整个基板区域内处理高分辨率蚀刻和均匀等离子体处理的平板显示器和大型基板。它具有最大12英寸（30厘米）的加工室尺寸和最大10.4英寸（26厘米）的基板尺寸,为大面积区域提供了最大的灵活性。该装置还提供了与各种标准工业蚀刻和等离子体化学和溶剂的兼容性。Autoetch 590配备了集成控制系统，能够对所有蚀刻和等离子体过程进行精确控制和监控。控制器包括完整的流程参数设置,以确保最大程度地优化流程。它还具有多种自动安全功能,可确保使用和操作的安全性和可靠性。LAM RESEARCH Autoetch 590设计方便维护,所有组件均可从设备顶部进入。无需工具即可完成标准维护任务,例如过滤器更改。该装置设有可调气流阀和颗粒计数器，使用户能够优化气流以获得精确的结果。Autoetch 590配备了自动化监控系统，实时跟踪和记录流程参数。这使操作员能够更好地评估流程的状态并在需要时进行调整。通过一系列内置功能,LAM RESEARCH Autoetch 590可以从任何具有互联网连接的PC进行远程控制。总体而言,Autoetch 590提供高效、可靠且用途广泛的等离子体灰烬和蚀刻器,可用于各种显示器和太阳能应用。LAM RESEARCH Autoetch 590具有卓越的控制、精密的工艺优化和易于维护,是高质量蚀刻和等离子体操作的理想工具。