二手 LAM RESEARCH Autoetch 590 #9300196 待售

LAM RESEARCH Autoetch 590是一种先进的等离子体蚀刻器,用于半导体制造.它是一种多阶段的灰蚀刻设备，能够同时对大小零件进行蚀刻和灰蚀，同时具有均匀性和等离子体密度。Autoetch 590旨在在时间和成本上创造最优质的最终产品。LAM RESEARCH Autoetch 590采用全自动开放式框架设计,可最大限度地访问系统,并采用两阶段操作进行蚀刻和灰烬零件。第一阶段提供快速和精确的蚀刻时间，而第二阶段则利用改良的灰化技术，为更均匀的等离子体密度产生不断释放的自由基。此过程提供了出色的蚀刻结果,而不会损坏或腐蚀零件。Autoetch 590还提供了对蚀刻和灰化过程的高级控制,提供了对射频功率和蚀刻循环时间的精确控制。其自动自调特性结合了一系列测试，调整等离子体生成以获得最佳蚀刻性能，从而实现了最佳蚀刻和灰化结果。还可以对高级设备进行修改,以适应蚀刻和灰化的特定要求。它还能够容纳多个直流电源,同时提供蚀刻和灰分多个组件的能力。LAM RESEARCH Autoetch 590为各种蚀刻和灰化应用程序提供可靠、可重复且持久的性能。此外,计算机还提供了可选的高级流程监控功能,允许用户跟踪刀具的性能,并提供紧急关闭功能以提高安全性。Autoetch 590具有先进的特性和特点,是蚀刻和粉刷各种元件的绝佳工具。