二手 LAM RESEARCH Autoetch 790 #9300198 待售

LAM RESEARCH Autoetch 790是专门为满足半导体、MEMS和光电行业的要求而设计的高性能蚀刻器/asher。它具有高度可配置的体系结构,允许用户根据个人需要对其进行定制。Autoetch 790旨在提供精确的蚀刻控制和较低的运营成本,同时强调安全性和可靠性。该设备采用先进的大面积基板输送系统，提供均匀的晶片处理，可处理多达8英寸的晶片。大面积基板输送单元还允许多芝加哥晶片加载和晶片分组。该机器采用全自动基板预处理工艺设计，确保基板清洁，并在整个晶片上提供均匀的蚀刻浓度。LAM RESEARCH Autoetch 790还具有先进的数字温度控制模块，可以精确控制蚀刻材料的温度。这确保了基材的均匀加工，同时最大限度地减少蚀刻消耗。它还具有直观的图形用户界面,可帮助用户快速轻松地选择配方参数、监控流程条件以及检测潜在的流程缺陷。自动蚀刻790配备了高效的工艺排气工具，通过去除蚀刻残留物和有害材料，确保对环境的影响最小。它还具有先进的密封资产，可以保存模型中包含的颗粒、烟雾和加工化学品。这样可以确保设备不会污染设施或危及人员。该系统设计具有故障监控、静态和动态压力控制、运行结束传感器和紧急关闭等多种安全功能。此外,它的设计符合所有适用的安全标准,并经认证可在D类危险材料环境的1类1类中使用。LAM RESEARCH Autoetch 790是一款健壮、可靠、用户友好的蚀刻器/asher，旨在满足半导体、MEMS和光电行业的要求。它提供精确的蚀刻控制、较低的运营成本以及较高的安全性和可靠性。