二手 LAM RESEARCH Chamber for 2300 Exelan Flex FX #9240243 待售
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LAM RESEARCH Chamber for 2300 Exelan Flex FX是一款为半导体制造业设计的先进等离子体蚀刻器和asher。它为各种设备应用提供精确可靠的各种材料蚀刻和灰化。自动化计算机控制设备处理流程设置、协调、配方开发和数据收集,以优化生产结果。该腔室采用全自动的Exelan Flex FX工艺，为蚀刻和灰化提供了广泛的可选条件，允许以最小的人工干预来实现卓越的工艺控制。该系统操作于各种腔室尺寸，宽度从2英尺到8英尺，并设有TiN/TiCN（氮化钛/碳氮化钛）镀层腔室，以确保卓越的蚀刻选择性和工艺稳定性。该单元还配备了通用的封闭式翻盖几何形状，减少了颗粒污染的风险，同时提供了改进的工艺准入和隔热。该室还提供先进的过程监测和控制。安装了多通道石英晶体射频电源监视器，以及射频电压、温度、压力和两轴压力记录器。此外，Exelan Flex FX包括两个气源，用于独立的RF和DC偏置控制，允许过程调谐以获得最大的蚀刻选择性和提高产量。还安装了自动机器人装载机/卸载机，为每个装卸批次提供快速周转时间。该腔室的设计可容纳广泛的工艺配方和选项，包括各种材料的蚀刻，如硅、氧化硅、氮化硅和金属。腔室的模块化设计和集成工具使调谐能够快速高效地实现每个应用程序的最佳工艺结果。而且，该机兼容多种批次类型，包括单晶片，最多可达800-150 mm的小晶片批次。Wamber for 2300 Exelan Flex FX是一款非常先进、可靠且用途广泛的半导体制造蚀刻器/asher。它的高级功能为用户提供了最大程度的控制和灵活性,以实现卓越的流程结果。
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