二手 LAM RESEARCH Chamber for Kiyo 45 #293609001 待售

LAM RESEARCH Chamber for Kiyo 45是一款为半导体晶圆加工而设计的蚀刻器/asher。它能够一次安全地装载多达200个晶片，并配备了获得专利的气体控制设备，以提高效率和准确性。该系统在所有处理模块中提供统一一致的过程环境,从而使产品质量一致且可靠。腔室还提供快速周转，晶圆处理时间低至4分钟的一些晶圆。Kiyo 45的腔室设计有助于保护内部环境，减少污染。包括一个独立的空气过滤单元，以确保空气清洁，并将颗粒保持在最低限度。该室还具有多种安全元件，如气体泄漏检测机、火灾探测工具和紧急关闭阀。Kiyo 45既有手动操作模式，也有自动操作模式。在手动模式下，用户可以通过显示屏上的用户界面直接访问腔室的功能，如温度和压力设置，以及过程参数。在自动模式下，机舱由机载自动化资产编程和监控，以提高过程控制和效率。Kiyo 45配备了干晶体管等离子体发生器和先进的气束输送模型。这样可以在低压和低温环境中进行精确、快速的蚀刻。气束输送设备精细控制和自动化气体溷合物和流速，提供更高的分辨率和重复性。Kiyo 45先进的温度控制系统旨在确保湿法工艺的最佳性能，从而提高薄膜质量。该室还能够存储与每个晶片和工艺相关的所有数据，允许用户跟踪晶片历史，并进行统计和诊断评估。Kiyo 45用途极为广泛,能够处理各种应用,如化学机械平面化（CMP）、化学气相沉积（CVD）以及蚀刻和灰化。因此，它是半导体工业必不可少的设备。它可靠、高效,并提供卓越的质量和过程可重复性。