二手 LAM RESEARCH Chambers for 2300 Exelan Flex #293729504 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex Chambers是为晶圆制造提供热工艺解决方桉的蚀刻器/灰烬。Exelan Flex机舱有Class 1和Class 10两种型号,后者提供卓越的控制和精确度。Exelan Flex腔室的创新设计提供了许多优于传统蚀刻系统的优势。利用两阶段热处理，可以更精确地控制温度和压力，以优化蚀刻结果。此外，两阶段技术提供低应力处理，确保高蚀刻率均匀性。较快的过程时间意味着生产周期要快得多。Exelan Flex具有高效的射频电源,消除了对昂贵的水冷的需求。这使腔室配置更加灵活,有助于降低成本。腔室的自动晶片识别和跟踪能力使操作员能够控制，减少停机时间和操作员错误。Exelan Flex的构建考虑到了便利性和可靠性,提供了广泛的监控功能,以便能够随时密切监控化学品、温度和工艺参数。这样可以确保蚀刻过程始终在最佳条件下进行。用户友好的软件界面使监控和调整设置变得容易，确保每次结果均匀。Exelan Flex是半导体制造的理想选择,是大多数生产蚀刻和灰化要求的完美解决方桉。这种功能强大的蚀刻系统提供可靠的操作、改进的工艺控制和更高的吞吐量,使其成为半导体制造的宝贵工具。