二手 LAM RESEARCH Chambers for 2300 Exelan Flex #9393585 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex Etcher/Asher的设计考虑了先进的蚀刻和灰化技术。这个来自LAM RESEARCH的创新室在湿、干蚀刻和灰化过程中提供最大的工艺覆盖范围和灵活性。该腔室包括支持低温蚀刻和去薄的三维等离子体、深层反应性离子蚀刻、等离子体灰化等先进技术。它还具有自动化的流程门,可确保快速、方便地访问样品,而无需手动调整。腔室也有75 torr的低压和1至2 milliTorr的压力范围。该2300EXP配备了多种功能,旨在最大程度地提高工艺产量并减少停机时间。特性包括一个均匀性控制特性，确保跨大面积基板的均匀工序，以及一个工艺排气系统，允许一旦晶圆灰化，腔室迅速排出至所需压力。2300 Exelan Flex的功能还包括金属密封软管连接、惰性薄膜加热器、多臂静电夹紧以及低温过程能力。它有一个自动伸缩臂支撑、惰性气体面板、自动气体阀和晶圆对准蛋糕。该室还包括自动化气体、等离子体和晶圆处理系统，这些系统允许快速、高效的过程执行。内置的过程监视系统允许进行错误检查,并可以检测蚀刻和灰化率波动以及过程的不稳定性。还可以在完成前对样品进行监测和检查是否有任何不规则性或缺陷。整个腔室大小为26 "w x 32" d x 35 "h，腔室具有处理八个2"晶圆或四个4"晶圆的能力。它与许多不同的等离子体源兼容，包括感应耦合等离子体、射频和偏置等离子体。腔室总气体输入为1.4升/分钟。总体而言,来自LAM RESEARCH的2300 Exelan Flex是一款高级蚀刻器/asher,它将灵活性和多功能性与可靠一致的过程控制结合在一起。该单元可容纳各种蚀刻和灰化配方,为湿法和干法蚀刻和灰化的多步骤工艺提供了出色的均匀性和可靠性。