二手 LAM RESEARCH / DRYTEK 384T AMN #9386131 待售

LAM RESEARCHY/DRYTEK 384T AMN干蚀刻器/asher是专门为需要同时精确蚀刻和灰化多层的应用而设计的工具。该设备能够产生较高的蚀刻和灰化速率，具有较高的均匀性、可重复性和层可靠性。它以紧凑可靠的设计提供蚀刻和灰化功能。DRYTEK 384T AMN利用三级等离子体源设计进行蚀刻和灰化。这一设计由射频发生器、高密度等离子体源和真空设备组成。发电机能够提供高达8,000瓦的功率,从而实现高蚀刻和灰化速率。高密度等离子体源提供了一种均匀的、可重复的蚀刻，对蚀刻过程提供粒度控制。真空系统能够承受低于1 mTorr的基本压力,从而形成干净、干燥的蚀刻/灰烬环境。LAM RESEARCH 384T AMN还采用了能够对蚀刻工艺进行热循环的室内设计。这样可以提高蚀刻的性能和可靠性。此外，该腔室还采用了磁铁正确的布置，以提高高密度等离子体的生成和优越的工艺均匀性。该室还配备了石英晶片船，这是快速热循环必不可少的，以及能够精确控制气体流速的气体分配歧管，用于精确、可重复的蚀刻和灰化。384T AMN设备配备了端点检测机、诊断气体喷射工具、互锁资产和等离子源监控模型等多种工艺工具。这些工具有助于改进过程控制,并使蚀刻器/asher能够提供统一且可重复的结果。最后，LAM RESEARCH/DRYTEK 384T AMN干蚀刻器/灰化器是一种有效、可靠的同时蚀刻和灰化多层的工具。它采用了三级等离子体源设计、能够进行热循环的腔室设计，以及多种工艺工具来提供精确的蚀刻和灰化。所有这些功能使其成为各种应用程序的理想工具。