二手 LAM RESEARCH / DRYTEK 384T #293799890 待售

ID: 293799890
Triode plasma etch system.
LAM RESEARCH/DRYTEK 384T是一款集超高速率沉积、高精度蚀刻、高级处理能力于一体的先进蚀刻和灰化设备。此蚀刻系统设计为蚀刻、粉刷和沉积材料,宽度可达6英寸(152.4mm),厚度可达8英寸(203.2mm)。它有一个大的工艺室,能见度很好,使其成为广泛的蚀刻和灰化应用的理想单元。DRYTEK 384T包括高精度上下驱动机、双视镜、红外或氦离子源以及真空沉积源。它配备了数字读出和自动倾斜功能,使精确处理能够满足蚀刻和灰化的最高标准。驱动器工具的数字读出自动调整零件位置,以确保准确性和可重复性。此外,资产的热补偿功能确保精确的蚀刻和灰化结果.该型号具有先进的电子灰化和蚀刻功能。在LAM RESEARCH中进行了许多蚀刻和灰化应用中使用的无电工艺384T其沉积速率极高。这种高沉积速率产生精确的蚀刻和灰化结果,即使是复杂形状的碎片。设备中的大腔室确保了整个蚀刻和灰化过程的均匀性。384T还提供出色的安全功能。其密封和安全增强的机柜保护人员和设备免受蚀刻和灰化过程中可能产生的有害气体、蒸气和气体的影响。该系统还配备了串联温度控制器、温度互锁和流量互锁系统以及强制空气大气,以提高安全性。LAM RESEARCH/DRYTEK 384T是一个高级蚀刻和灰化单元,非常适合广泛的应用。它具有高精度的蚀刻和灰化功能、出色的安全特性以及用户友好的界面,使其成为满足所有蚀刻和灰化需求的理想选择。有了这台机器,用户就可以放心地实现精确的蚀刻和冲洗效果.
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