二手 LAM RESEARCH / DRYTEK 384T #85389 待售

LAM RESEARCH/DRYTEK 384T是为半导体加工而设计的高级蚀刻器/asher，产生高品质的蚀刻结果，具有极好的重复性。它具有自动化设备,可快速可靠地执行蚀刻、灰化和清洁等过程,同时还提供可靠的过程控制、安全性和可靠性。DRYTEK 384T不锈钢室采用隔离阀密封，消除了污染风险。该系统配备了提供精确流程控制的高级数字控制器，以及直观的图形流程配方编辑器和全数字化流程监控功能。自动化过程将确保您的主板级设备得到良好的处理,干燥蚀刻速率高达176 μ m/min,疏水层厚度高达20 nm。该单元有一个消除有害物质和气味的综合排气单元，使其成为工作场所更安全的选择。此外,LAM RESEARCH 384T还配备了一个功能强大的软件套件,用于编程和监控,提供有关流程参数的实时数据和室内维护的可见性,以及易于使用的图形用户界面。偏置、电弧点火和补偿步骤都可以通过软件中的精确控制来完成,从而可以创建自定义过程配方以满足项目的精确要求。可以使用各种附件来进一步扩展设备的功能,例如热板和特殊的气体溷合系统,以便根据您的确切应用对机器进行定制。384T是清洁高效生产半导体器件的理想蚀刻器/粉碎器。