二手 LAM RESEARCH / DRYTEK 384T #9036715 待售

LAM RESEARCH/DRYTEK 384T是一种为制造半导体器件层而设计的蚀刻/粉碎器设备。它是一个功能齐全的蚀刻器/asher平台，具有用户界面，可以方便地访问系统的各种功能。这个单元可以在0度到45度的几个不同角度进行蚀刻，以便在不同的工艺步骤之间提供最大的选择性。此外,由于其先进的技术,包括高性能批量微波发生器、高分辨率端点检测器和自动配方控制机,它能够实现高达100 nm/min的工艺速率。通过使用工具配备的高分辨率端点检测器，可以针对设备需求进一步优化蚀刻工艺。DRYTEK 384T旨在形成宽度在150-300 mm范围内的有效通道。它还能够达到高达50：1的长宽比，使亚微米特征和介电层的蚀刻具有出色的形状和均匀性。此外，该资产包括三个处理室，每个室提供不同的能力。第一室涉及沉积控制，具有有效沉积光致抗蚀剂和目标材料的机制。第二室和第三室专门用于蚀刻和抛光晶圆。第三室用于蚀刻后清洗晶片。此外，LAM RESEARCH 384T配备了两个先进的等离子体源，在蚀刻工艺方面提供了额外的多功能性水平。此外,该型号还提供各种功能,以确保操作过程中的安全。加工室配有冷却剂设备，可使加工室保持稳定温度。此外，多个闸门和屏蔽防止可能暴露在工艺室的挥发性气体。此外，384T还包括几个安全锁和一个高速气体幕，以保护操作员和其他人员免受危险气体的伤害。总体而言，LAM RESEARCH/DRYTEK 384T是制造半导体器件的绝佳蚀刻/asher平台。由于它的多功能性、效率和安全特性，它是研究人员和实验人员的理想选择。