二手 LAM RESEARCH / DRYTEK 384T #9384902 待售

LAM RESEARCHY/DRYTEK 384T Etcher/Asher是一款高性能、高产量的设备，用于半导体行业，用于金属、硅等硬质材料的蚀刻和灰化。该系统设计用于生产最佳设备性能所必需的可靠、可重复的过程。DRYTEK 384T是一种单晶片蚀刻装置，利用高通量热蚀刻和等离子体蚀刻工艺的组合来达到所需的器件特性。这台机器可以提供比其他系统快五倍的蚀刻和灰化速度,从而提高吞吐量并提高成本效率。该腔室为高效散热而设计，采用隔热、热负荷管理和工艺密封技术相结合。该工具还提供了多种工艺定制选项，包括能够蚀刻不同几何形状的各种材料，使其适合各种半导体应用。LAM RESEARCH 384T资产还配备了多项安全功能，如臭氧洗涤器、氧气洗涤器和氮气洗涤器，以及现场气体监测器，以确保最佳安全和环境性能。该模型还提供了多种先进的控制功能,如先进的压力控制设备、现场时间和温度记录、自动关闭系统、自动启动功能、流量控制单元和基于配方的控制机器。这种高级功能的组合能够增强过程控制和优化,使工具适合各种生产要求。此外,384T能效极高,能耗比其他同类系统少25%,大大降低了运营成本和环境影响。总体而言,LAM RESEARCH/DRYTEK 384T Etcher/Asher是生产半导体器件的可靠、高性能的解决方桉,可提供更高的吞吐量、定制的过程控制和能效。