二手 LAM RESEARCH / DRYTEK DRIE-100 #293645358 待售

LAM RESEARCH/DRYTEK DRIE-100是一款为半导体行业设计的蚀刻器/asher，提供用于单晶片和批处理的高级蚀刻和灰化功能。该设备具有较大的阴极面积和高压、高脉冲放电能力，为苛刻高温和磨料提供卓越的蚀刻速率一致性、蚀刻深度控制和机械冷却。系统强大的发电机和电源允许用户调整蚀刻参数，以实现高精度和灵活性。DRYTEK DRIE-100采用先进的反应性离子蚀刻和灰化技术，使用户能够将材料蚀刻和灰化到极小的深度，对基板的损害最小。机载气体输送装置也包括在内，提供可重复流动和基于配方的化学控制。附加功能包括先进的二维射流制图技术、高精度的原位端点控制、全面的工艺监控、自动化的晶片基板级真空，以及对腔室真空的监控能力。LAM RESEARCH DRIE-100包括多项先进的安全功能，包括内置压力调节、带气锁的操作员检修门、排气过滤和精密的泄漏检测。该机器还通过了UL、CE和SiaCG标准的健康和安全认证。总体而言,DRIE-100是一种高级且可靠的蚀刻器/asher工具,可提供卓越的性能和更高的流程灵活性。其多种安全特性使其适合于多种半导体工艺中使用。资产的可调蚀刻参数允许精确的控制，使其完美的专门蚀刻和灰度要求。