二手 LAM RESEARCH / DRYTEK DRIE-100 #82998 待售

LAM RESEARCH / DRYTEK DRIE-100
ID: 82998
etch system.
LAM RESEARCH/DRYTEK DRIE-100是为满足现代半导体器件加工需求而开发的一种高度精确的蚀刻器/asher。DRYTEK DRIE-100非常精确可靠,是满足各种设备需求的理想选择。它能够切割一系列材料,从金属和聚合物到电介质。LAM RESEARCH DRIE-100具有许多功能,使其成为许多设备制造商和研究实验室的首选。该设备设计有多个工艺区,允许一致的温度和均匀的蚀刻深度。该设计还具有各种晶片支架和可编程过程控制功能,从而可以精确控制所有过程参数。DRIE-100还与各种蚀刻气体以及调频射频源兼容,从而可以限制对敏感材料的损害。通过在蚀刻室内保持均匀电势的感应板进一步提高了系统的精度。在安全和质量保证方面,LAM RESEARCH/DRYTEK DRIE-100配备了所有必要的系统。集成真空装置可确保灰尘、碎屑和液体污染物远离机器,从而防止受到污染的危险。高速照相机和光学传感器在蚀刻过程中提供实时反馈,允许实时调整工艺参数,并轻松评估最终结果。DRYTEK DRIE-100已在若干设施中进行了彻底测试,证明其质量和有效性。它的精确度、均匀性和可靠性使其成为许多设备处理需求的绝佳选择。它易于使用和维护,其精密的设计使得高品质微纳米器件的创建既快捷又高效。LAM RESEARCH DRIE-100功能丰富,是研究和工业环境的理想选择。
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