二手 LAM RESEARCH / DRYTEK MS-6 #144520 待售

LAM RESEARCH/DRYTEK MS-6是一个蚀刻器/asher系统，用于半导体基板的蚀刻和清洁等过程。它是一个完全集成的系统，包括两个单独的用于蚀刻和清洁的腔室，允许操作员在同一运行中进行两个过程。蚀刻过程利用电子回旋共振（ECR）微波等离子体产生高密度的反应性物质等离子体，可以蚀刻广泛的底物。该系统利用一种特殊的射频偏差，通过增加离子能量增强蚀刻过程，同时还允许实现高选择性。灰化工艺利用标准和高压湿化学选择，包括丙二醇、KOH和TMAH，来清洁有害材料的底物。清洁过程是高度专业化的，以减少基板和工件的表面污染。DRYTEK MS-6具有卓越的可靠性和性能,能够对基板进行精确的蚀刻和清洁。它还能够在广泛的工艺参数上操作，以提供对蚀刻和清洁工艺的精细控制。此外，LAM RESEARCH MS 6可通过其多室设置，用于各向同性蚀刻、重新溅射、钝化等多种组合过程。它的模块化方法为用户提供了灵活性和各种适合加工的材料。此外，与人工湿化学工艺相比，MS-6提供了更好的均匀性和可重复性，并且可以很容易地融入生产系统。LAM RESEARCH MS-6以极具竞争力的价格提供了最高的性能,是当今最好的蚀刻/asher系统之一。