二手 LAM RESEARCH / DRYTEK PS-80 #188465 待售

LAM RESEARCHY/DRYTEK PS-80蚀刻器和asher设备是最通用、最先进的蚀刻和灰化应用工具之一。它旨在提供可靠、可重复的结果,并具有出色的一致性。该系统通过高温、高功率和参数的精确控制提供精确的蚀刻和灰化。DRYTEK PS-80包括一台用于精密蚀刻和灰化的高频射频发生器，以及一个装有自动门和定制打滑的等离子体室。射频发生器可以设置为可变功率级别,并且能够达到高达600°C的温度。压力水平也可以手动调整,提供0-600 mTorr的可调范围.PR单元允许用户自定义蚀刻的工艺配方，并包含多种高级安全功能。该机设有带涡轮分子泵和每秒100升离子泵的腔室真空工具。这提供了出色的抽水速度和空气疏散室内，允许精密蚀刻和灰化。LAM RESEARCH PS-80还包括高压冲击发生器,它允许使用预设的工艺配方,而无需手动更改设置。此外,该资产还包括一个可选的负载锁定室,允许在不使样品托盘露天的情况下传输样品托盘。为了隔离和疏散等离子体，PS-80包括两级自动真空模型和氧化Agnostic™等离子体源。这确保了更精确的蚀刻和灰化过程,并提高了均匀性,并使更改配方和工艺参数变得更加容易和快捷。LAM RESEARCH/DRYTEK PS-80还包括一个化学输送设备，为均匀和精确的蚀刻和灰化过程提供反应物的精确控制。DRYTEK PS-80蚀刻器和asher系统是需要精确蚀刻和研磨的应用的理想工具。它为用户提供了对所使用参数的增强控制级别,并且能够达到高达600°C的温度。此外,该设备还包括多种高级安全功能,可提供准确的结果,并具有出色的均匀性。