二手 LAM RESEARCH / DRYTEK Quad #9038448 待售

LAM RESEARCHY/DRYTEK Quad是一款用于薄膜沉积和光刻加工的最先进的蚀刻器和asher设备。该系统由四个腔室组成，每个腔室具有独立的等离子体源。密室串联工作，允许同时蚀刻和/或粉刷多个薄膜。这种工艺是薄膜沉积的理想方法，能够在光学显微结构制造的基础上实现光刻技术的未来发展。第一室主要用于氧基蚀刻。它由不锈钢阴极和石英阳极组成。阴极由可调直流电压供电，可从前面板进行管理，以控制过程。射频发生器为石英阳极提供动力，其功能是产生富氧等离子体并确保均匀的蚀刻速率。第二室和第三室都用于灰化，但是第三室还具有可调阴极。第三室和第四室同样具有碳源，使用质量流控制器将碳源注入密封的等离子体中。第四室是为蚀刻而设计的，在过程中另外提供石英罩。这使得整个单元在促进与其他腔室的连通性和兼容性的同时极其安全。该机还具有可编程逻辑控制器（PLC），用于调节每个腔室中使用的气体的离子能量和流量。这使得对光电应用至关重要的蚀刻和灰化过程的精确控制成为可能。最后，该工具完全由计算机控制，允许基于配方的详细自动化。这允许更高级别的可重复性,以及实时监控每个操作的能力。总之,DRYTEK Quad是一种用途广泛、功能强大的蚀刻器和asher资产.其先进的特点使其成为薄膜沉积和光刻加工的理想工具。PLC的灵活性，加上可调阴极和石英罩提供的精确控制，使得该模型成为任何光电实验室的宝贵资产。