二手 LAM RESEARCH EOS #293601477 待售
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LAM RESEARCH EOS是一款用于半导体加工的蚀刻器和asher。它具有强大的、完全集成的蚀刻室,可为关键过程（如通过蚀刻和前后弯曲）提供卓越的蚀刻速率和均匀性。设备可以同时蚀刻多层，能够进行非常高精度的晶圆蚀刻。EOS系统可以用来蚀刻和粉刷范围广泛的材料，包括硅、的、SOI、高k、铜、铝、钨等。它利用可靠的单晶片加工室，能够提供卓越的蚀刻速率均匀性，在整个晶片上均匀性为+/-1%。该装置能够蚀刻直径达200毫米的晶片，每小时可处理多达200个晶片。为确保无缝、可重复的过程,LAM RESEARCH EOS提供了多种蚀刻和灰化模式,包括单晶圆、多层和多蚀刻序列。通过微步调整和饱和度控制功能,可以增强过程控制和精度。此外,EOS还配备了多种传感器和探测器,包括用于检测工艺气体和密度的闭环反馈机制,以及用于监视基板温度以确保理想工艺条件的热传感器。LAM RESEARCH EOS专为高生产力和高质量而设计,具有准确、可重复的流程能力。它得益于LAM RESEARCH专利的高密度等离子体（HDP）工艺技术。EOS具有坚固的工程设计、经济高效的操作和卓越的蚀刻速率,非常适合任何高性能蚀刻和灰化机。
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