二手 LAM RESEARCH EOS #293638918 待售

LAM RESEARCH EOS是一款专门从事深反应性离子蚀刻（DRIE）和硅蚀刻的蚀刻器/asher。这种先进的设备采用最新技术进行设计，以确保其干燥蚀刻工艺的精确度和可重复性。它通过模块化设计提供了广泛的蚀刻选项,允许对系统进行定制,以获得最佳的流程性能和流程开发的可扩展性。EOS由一个可变频率射频源组成,可运行到13MHz个,具有可变流量能力的独立输送通道,以及一个用于可变偏压和处理持续时间的多偏置控制器。它为包括MEMS、CMOS和绝缘体硅（SOI）在内的各种应用提供一致的高质量蚀刻结果。LAM RESEARCH EOS采用传统的逆流反射蚀刻配置,采用先进的笼式设计,并采用平面后壁,可提供快速、有效的蚀刻。EOS还具有一个获得专利的自对准安装和基板调节器，以将基板定位在蚀刻室内的最佳平面中。这样可以确保每个基板和层都得到统一的处理,并消除人工干预。此外,系统还配备了内置射频腔,可消除驻波问题并降低蚀刻过程中的可变性。LAM RESEARCH EOS的高级过程控制和监控功能为用户提供了全面的过程控制和自动化，以确保可重复的结果。该控制器使用户能够分别对每个蚀刻室配方进行编程和监控,而自适应RF调谐功能提供统一的RF功率分配,以确保最佳蚀刻性能。常数和脉冲模式蚀刻可以编程，以及多个腔室操作。总体而言,EOS 蚀刻器/asher是一种高精度的数控蚀刻器,配备了先进的技术,可确保许多蚀刻应用程序的重复结果。利用变频射频源和多偏置控制器,LAM RESEARCH EOS可为用户提供整个过程自动化,从而实现定制的过程开发。EOS具有自对准安装座和基板调节器、受控射频分布、执行多个腔室操作能力等先进特点，是高精度蚀刻工艺的理想解决方桉。