二手 LAM RESEARCH EOS #293666965 待售

LAM RESEARCH EOS是一种广泛应用的半导体加工蚀刻器/asher。采用这种先进的蚀刻技术，提高了蚀刻工艺的精确度，实现了小部件的精密蚀刻。它通常用于图样化晶圆蚀刻，允许高精度和光滑的蚀刻与短循环时间。EOS蚀刻器包括一个易于使用的设备，具有自动感应器监控和晶圆对准，以及一个单室蚀刻系统。主工艺室提供了一个高度均匀和高效的高密度等离子体蚀刻环境，在广泛的温度范围内工作。LAM RESEARCH EOS单元通过提供过程优化工具实现非常精确的蚀刻控制。它提供了一种自动化调谐机，可以快速准确地调节蚀刻气体的输送、压力、温度、蚀刻速率等参数，以优化蚀刻质量。EOS具有内置的双源能力，可以同时使用两种不同的蚀刻化学方法，从而提高蚀刻工艺的生产率。此工具旨在最大程度地降低晶圆损坏或污染的风险,并能够高效、一致地管理复杂的蚀刻任务。此外，LAM RESEARCH EOS也能够快速循环时间。它旨在最大限度地减少任何耗时的冲洗步骤,并且资产能够在不到1分钟的时间内完成一些湿蚀循环。EOS模型还能够提供精确曝光时间的精细控制蚀刻。即使蚀刻功能非常小,这也能确保高质量的蚀刻。LAM RESEARCH EOS的高级功能使其非常适合广泛的蚀刻操作。它能够对大小特征进行高精度蚀刻,而又不牺牲精度。设备非常可靠，经过生产优化，是许多蚀刻应用的理想设备选择。EOS旨在快速制作具有快速周期时间的高质量蚀刻版画,使其成为一种经济高效的解决方桉,有助于节省时间和金钱。