二手 LAM RESEARCH EOS #293666968 待售

LAM RESEARCH EOS是一款蚀刻器/asher,设计用于提供高精度和低能耗,使其成为低容积和大容积工艺的理想选择。这台最先进的机器将高性能蚀刻和灰化技术结合到一个单一的紧凑平台中,以支持各种过程,从基本蚀刻和灰化到高级复杂的3D模式。EOS利用原子层蚀刻（ALE）工艺干蚀刻（PDE）和基于等离子体的反应性离子蚀刻（RIE）技术,实现高分辨率蚀刻,具有卓越的可重复性和卓越的精确度。Ale工艺用于蚀刻平板显示器和半导体等低温材料，而PDE技术则用于蚀刻和去除热敏材料。RIE工艺用于创建半导体行业中的接触孔等超精细特征。LAM RESEARCH EOS专为对金属、硅、陶瓷、玻璃和聚合物等多种材料进行高效、精确的加工而设计。它的模块化结构允许在样品处理过程中在位置之间方便地转移晶片和基板。此外，系统是完全可编程的，允许自动化的许多过程，以最大的生产力。EOS采用业界领先的技术,以最小的能耗确保一致的高质量蚀刻工艺结果。其行之有效的双区加热控制系统采用强制对流，用机电快门和绝缘壁均匀加热蚀刻区，允许精确的温度控制和均匀的加热。此外,随附的Resonant-DC电源可提供极精确的低电压电源传递,甚至可以在最小电压变化的情况下蚀刻细腻的特性。总体而言,LAM RESEARCH EOS为蚀刻和灰化提供了一个灵活、高效和经济高效的解决方桉,其精确度和精确度非常高。它是任何研究或商业蚀刻项目的理想选择，以可承受的价格提供无与伦比的性能。