二手 LAM RESEARCH EOS #293666971 待售

LAM RESEARCH EOS是一种高级蚀刻/灰化解决方桉,采用开放式平台设计,使用户能够在精确控制蚀刻速率和深度的情况下创建高质量的微结构。它提供了广泛的蚀刻配方供选择，允许用户在SiN、SiO2、Si3N4、多晶硅等各种基材中创建精确的微结构。该产品还提供一系列气体输送选项,最大压力可达800 mtor,使用户能够生产高分辨率的抗蚀膜。EOS具有集成的温度控制系统,可保持均匀的蚀刻和灰化过程以及一致的结果。其编程界面允许用户设计多个蚀刻配方，以高精度和可重复性达到所需的效果。LAM RESEARCH EOS还有一个先进的安全系统，旨在保护人员免受腐蚀剂和烟雾的侵害。最后,该平台可轻松与其他工具和系统集成,使用户能够以最小的工作量扩展其功能并实现更高的生产效率。