二手 LAM RESEARCH EOS #293803218 待售

LAM RESEARCH EOS是一种干蚀刻器/灰化器设备，设计用于样品的蚀刻和灰化。该系统采用独特的等离子源技术，在比传统电子束单元更低的功耗水平下产生高度电离的致密等离子体。利用这台机器，可以实现更高的加工吞吐量，而不会影响蚀刻和灰化质量。该工具的主要部件是等离子源、等离子体腔、晶圆支撑板和EOS扫描管理资产（EMS）。等离子体源模块设计用于生成和控制等离子体。它提供了广泛的等离子体参数，以适应各种蚀刻和灰化应用。等离子体室的设计是为了创造和维持高质量的等离子体环境。设有多个冷却区，最大限度地减少热积聚，确保样品质量。晶圆支撑板作为安装和控制晶圆的平台。它配备了精密电机和真空模型。晶片支撑板的主要目的是在每个处理步骤中将晶片固定到位。这是通过将晶片精确定位在板上，以尽量减少工艺变化来完成的。EMS是用于控制设备的主要软件。EMS使用户能够创建各种配方和序列，以精确控制等离子体参数和工艺条件。EMS还提供各种流程监控和诊断功能。除了系统组件外,LAM RESEARCH还提供蚀刻和灰化过程的模板。这些模板允许用户快速自定义其设备设置。模板还提供配方克隆和优化功能,可加快流程开发。LAM RESEARCH EOS是一款功能强大、用户友好且经济实惠的蚀刻和灰化应用工具。凭借先进创新的技术，该机提供了快速高效的处理能力。它的灵活性为各种蚀刻和灰化应用程序提供了最佳性能。