二手 LAM RESEARCH Exelan A6 #9090420 待售

LAM RESEARCH Exelan A6是为高批量生产高品质蚀刻微结构而设计的蚀刻/灰烬。对于制造商来说，它是一个经济可靠的解决方桉，因为它能够容纳标准的工艺模块，可以很容易地重新配置用于深层反应离子蚀刻（DRIE）、博世工艺（Bosch Process）和湿法蚀刻等多种工艺。Exelan A6采用全金属结构，可拆卸室被包裹在一个严格的安全外壳中，容纳所有加工区域。此外,LAM RESEARCH Exelan A6还包括一个专有的软件界面,用户可以根据各种参数快速准确地配置设备。Exelan A6的主要特点是内置控制压力、温度和定时的安全机制。压力、温度和定时可以通过专用软件进行调节，从而降低损坏部件的风险。此外，该系统还配备了三个冗余输送系统、三个独立激光器和三个独立的压力容器，从而能够高效蚀刻具有不同类型蚀刻气体的多层。LAM RESEARCH Exelan A6还提供自动化的单元开/关功能、减振和紧急停止按钮。这样可以确保用户和工厂环境的最大安全。Exelan A6旨在减少与基材相关的潜在损害和污染的机会。它能够产生高度准确和可靠的结果，同时利用与底物兼容的化学品，从而确保最终产品的质量。此外，该机还包括用于连续、低功率显微镜检查蚀刻显微结构的自动化计量解决方桉。这允许用户监视蚀刻结构并检测任何潜在缺陷和偏离所需结果的情况。此外,LAM RESEARCH Exelan A6还配备了所有必要的安全设备,可保护用户免受火花和火灾等潜在危害。总体而言,Exelan A6是一款先进、可靠且安全的蚀刻/分贝生产工具。内置的安全机制可降低与基板相关的污染和损坏风险,而内置的硬件和软件则可实现快速、准确和可靠的结果。此外,自动计量解决方桉还提供对蚀刻微结构的连续评估,确保最终产品的所需质量。所有这些功能使LAM RESEARCH Exelan A6成为制造商的绝佳选择。