二手 LAM RESEARCH Exelan Flex 45 #9157701 待售

LAM RESEARCH Exelan Flex 45是一款蚀刻器和asher,设计用于执行特定于应用程序的蚀刻和灰化过程。它基于可靠、用途广泛的Exelan Flex Platform,该平台已被证明可提供卓越的工艺性能和产率,适用于包括光刻、半导体和MEMS制造在内的一系列应用。它利用先进的工艺和技术,如晶圆处理、均匀性、高精度、耐缺陷蚀刻以及基于HF和SF的灰化,使您能够灵活地以较低的成本生产更高的产量。它还提供了一系列自动化功能,便于操作和监控,例如温度控制、过程监控、基板监控、手动控制和诊断,为您提供了更大的数据和控制。Flex 45采用304L不锈钢制成的加工室，最大腔室尺寸为450 x 450 x 500 mm，可容纳更大的基板和最大300 mm的加工晶片。它包括一个以二氧化碳（CO2）为基础的工艺气体输送设备，该设备使用微波和热等离子体的组合来制造高密度离子束以提高选择性，以及两个气体溷合器以输送前体和蚀刻气体。还采用了内置的ECR蚀刻器，它能够在极低的泄漏电流下实现高蚀刻选择性。此外，它在蚀刻过程之前或之后提供等离子体处理，并且能够一次处理多个晶片。Flex 45是一个经济实惠的全天候晶片处理平台,提供均匀性、均匀的薄膜均匀性,并具有加热的负载锁和喷嘴站,使您能够在最短的停机时间内快速更改晶片类型和气体溷合。该流程软件设计为满足您的特定应用程序要求,其直观的图形用户界面（GUI）允许轻松设置参数和控制系统。该单元采用模块化设计，可配置用于其他应用，如氧化物、氮化物和绝缘体硅（SOI）处理，以及沉积和后端工艺。它还提供可选设备，如等离子体或光增强工艺和集成光学检测机。Exelan Flex 45非常适合需要精密蚀刻和灰化工艺的半导体和MEMS应用。其先进的功能和用户友好的软件使其易于使用，同时提供灵活性和性能，以满足最具挑战性的半导体和MEMS应用的需求。它是以经济实惠的价格获得最大产量的理想蚀刻器/灰度。