二手 LAM RESEARCH Exelan #293614971 待售

LAM RESEARCH Exelan是一家先进的半导体晶圆加工蚀刻器和asher。它是一种具有最先进的控制器的单室粉碎机，在所有沉积应用中都具有极好的精度、可重复性和可靠性。Exelan能够用多种化学物质和蚀刻化学物质同时蚀刻和粉刷多种底物。此外,LAM RESEARCH Exelan还设计了一个可使安全性、材料效率和成本节约最大化的工艺室。Exelan的设计旨在蚀刻和粉刷各种材料，包括金属、复合半导体、聚合物和碳纳米管。这使得它非常适合需要快速周转时间的应用程序,因为即使样本量有限,它也能获得统一的结果。LAM RESEARCH Exelan的控制器旨在实现过程参数设置的灵活性，使其适合客户研发应用。该机有一个自动洗室设备，利用刷洗有效的表面清洁和腔室维护。此外，还进行自动清除和排气，以提高流程的可靠性和可重复性。它还具有氮气大修系统，有助于最大限度地减少颗粒物污染，这在表面污染可能有害的应用中是有益的。为了保证安全的工作环境，埃克斯兰拥有爆炸探测单位。这台机器对于半导体晶片的生产特别有用，因为它可以通过在半导体晶片暴露于其中之前监测室内气体来降低爆炸反应的风险。LAM RESEARCH Exelan有一个密封的工艺室，将粒子污染的可能性降至最低，而该室的设计方式是为了减少工艺失败的机会。总体而言，Exelan是一种高效可靠的蚀刻器和灰化器，可确保所有沉积过程的精确度和可重复性。先进的控制器、自动腔室清洗工具、氮气检修资产、爆炸探测模型确保设备保持安全的工作条件，而密封的工艺腔室则确保晶圆生产的最大安全性和可靠性。