二手 LAM RESEARCH Exelan #293615012 待售

LAM RESEARCH Exelan是一款经济实惠、高性能的蚀刻器/asher,专为大批量IC生产而设计。它是一种先进的生产级制造设备,能够提供精确和可重复的参数,同时执行极其苛刻的蚀刻和灰化过程。Exelan提供强大可靠的性能,非常适合用于大批量生产IC。LAM RESEARCH Exelan利用完全集成的等离子体蚀刻系统和集成的端点检测技术。此集成自动化单元可提供精确的过程控制和高性能吞吐量。该机器具有多种蚀刻和灰化功能,可完成要求最苛刻的蚀刻任务,以及蚀刻最具挑战性的化合物的能力。Exelan利用平行板高频电源提供低压等离子体充电，提供对等离子体蚀刻过程的精确控制。它还通过在广泛的温度范围内提供均匀的蚀刻而不会损坏底层,从而提供高速率的材料去除。它还提供高分辨率成像功能。除了蚀刻和灰化功能外,LAM RESEARCH Exelan还提供多项辅助服务,旨在最大限度地提高生产效率和缩短周期时间。这包括自动室内清洁和维护，以及自动过程监测，以加强安全和质量控制。Exelan也被设计为简化运算符交互。它包括一个直观的用户界面，具有彩色显示和菜单，以确保高效和有效的操作。LAM RESEARCH Exelan还包括远程访问功能,使用户能够从远程位置对蚀刻器进行编程和监视。Exelan是一款功能强大且用途广泛的高批量IC生产工具。其先进的蚀刻和灰化功能、复杂的自动化和监控工具,以及直观的用户界面,使其成为要求苛刻的蚀刻过程的理想解决方桉。其可靠的操作和一致的结果提供了提高生产力和提高产量。