二手 LAM RESEARCH Exelan #293615013 待售

LAM RESEARCH Exelan是一个蚀刻器/asher，旨在提供对蚀刻速率和均匀性的精确控制。蚀刻室的特性足够大，可以容纳高达8英寸晶圆的加工。Exelan能够适应硅、石英等多种底物。LAM RESEARCH Exelan的桌面蚀刻设备具有简单的过程控制界面,可实现自动化处理。它利用一个强大的过程控制算法来促进更快的斜坡速率和精确的蚀刻速率控制。它具有定制设计的硬件，支持广泛的蚀刻工艺配方，允许对每个基材进行精确的蚀刻控制。埃克斯兰的平台级真空系统利用双扩散泵的配置提供了高水平的真空。它有一个专用的微控制器和一个基于激光的反馈回路，用于控制腔室压力以减少颗粒污染。该蚀刻器旨在支持一系列生产工作流系统。它还配备了安全机制，限制蚀刻诱导的真空压力波动，确保操作员和设备的安全。LAM RESEARCH Exelan单元配置为与选择的化学品一起使用。它有两个填充和空口，可以接收干化学品，可以清除废旧化学品。它还包括一个真空排气口，以安全去除蚀刻过程中的气态产物。Exelan是一款可靠可靠的蚀刻机,可提供高分辨率的蚀刻配置文件。它旨在提供跨平台的兼容性,并允许用户以最小的努力在不同的制造商之间进行切换。它采用了先进的间距捕获蚀刻控制策略,可最大程度地减少蚀刻深度的不均匀性,并确保一致准确的蚀刻结果。LAM RESEARCH Exelan是一款具有时间和成本效益的蚀刻工具,可提供可重复的高质量结果。它非常适合各种蚀刻应用,如MEMS、高长宽比、嵌入式背面蚀刻等。它提供了灵活性和较低的拥有成本,使其成为工业和学术机构的理想选择。