二手 LAM RESEARCH Exelan #9235217 待售

LAM RESEARCH Exelan是一种精密蚀刻/灰分设备,旨在满足复杂的蚀刻要求,并具有高通量和高质量。它提供了三种不同的等离子体来源，以便在包括低k、超低k （ULK）氧化物和氮化物在内的各种基材上实现最佳蚀刻工艺性能。Exelan系统由一个载荷锁定室、一个真空室和一个机器人基板传输单元组成，最多有三个等离子体源。LAM RESEARCH Exelan设计的最大吞吐量和灵活性，允许基材交换在每个腔室和短周期时间。它的三个等离子体源提供了经济高效的柔性蚀刻解决方桉，从受控塌陷低压蚀刻（CCLP）到大气压化学气相沉积（APCVD）和原子层沉积（ALD）。Exelan的CCLP蚀刻源利用先进的微波发生器和天线技术，确保了高性能蚀刻过程，并取得了可靠的结果。该机器的火炬等离子体和下游等离子体源为LHDP和ALD氧化物等敏感材料提供了优越的选择性和高蚀刻速率以及低离子能量。等离子体源的设计便于维护,而且在运行时间长、具有挑战性的生产环境中具有卓越的可靠性。LAM RESEARCH Exelan工具采用功能强大的软件平台,提供高级过程控制功能,包括针对不同基材类型的优化配方。这些高级控制有助于在需要高质量结果的应用程序中实现高蚀刻精度、重复性和最大吞吐量。凭借强大的设计和直观的软件界面,Exelan实现了简化的蚀刻过程。此外，LAM RESEARCH Exelan是一种经济高效、适应性强的解决方桉，有效地满足了半导体行业的需求。凭借其创新的等离子体源、先进的工艺控制功能和精密的软件，Exelan是一款可靠而强大的蚀刻/灰烬资产。